【多选题】 硅外延生长工艺包括【】。（技能鉴定,其他技能,半导体芯片制造工习题）

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【多选题】 硅外延生长工艺包括【】。

A衬底制备

B原位HCl腐蚀

C生长温度，生长压力，生长速度

D尾气的处理

答案解析

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